在测量真空镀膜设备的真空度时需要考虑哪些问题？

点击数：631 发表时间：2022-10-09 14:04:58

在测量真空镀膜设备的真空度时需要考虑哪些问题？下面跟随青岛真空镀膜设备小编的脚步一起看看吧。

目前的科技水平已经能够从常压到10⁻¹⁰Pa测量压力范围内涂层机真空度的问题通常是选择不同类型的真空规来测量不同压力范围内的气体压力。然而，对于极高的真空度(10⁻¹¹Pa~10⁻¹³Pa）测量还存在一些不足。因为在特殊条件下很难选择真空规直接测量真空度，所以要综合考虑真空规的工艺.结构，结合其理论等问题。

在低于常压/大气压的环境中，气体全压的测量称为真空度测量。真空计作为测量低于1的测量.01*10⁵Pa（大气压）压力值的全压装置通常由真空规及其控制线组成。真空规和真空校准是真空测量的重要组成部分。

1.真空规则有相对真空规则.绝对真空规则有两种:

（1）相对真空规则。这种真空规则需要根据气体压力和输出信号之间的关系来确定。

(2)绝对真空规。气体压力只能根据测量的物理量直接计算。

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2.真空测量标准有两种:相对真空校准系统和绝对真空校准系统:

（1）相对真空校准系统。该真空校准系统的主标准器采用相对真空规则，在校准真空规则之前需要通过绝对校准系统进行校准。

（2）绝对真空校准系统。这种真空校准系统可以根据测量的物理量直接计算压力来校准真空规则。

目前从大气压/常压到10⁻¹⁰pa镀膜机真空度，有各种类型的绝对真空校准系统及其绝对真空规，从大气压/常压到10⁻⁷Pa在压力环境下，双边有各种类型.多边真空量值比较工作的发展，结果比较统一。

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