镀膜时薄膜厚度及其测量方法你知道吗？

点击数：761 发表时间：2022-10-19 13:59:10

薄膜厚度是影响薄膜各种性质及其应用的最重要参数之一。下面和青岛真空镀膜加工小编一起聊聊吧。

镀膜时薄膜厚度及其测量方法你知道吗？

在制膜工艺中，薄膜淀积率是一个重要的参数，它直接影响到薄膜的结构特性。

重点：测量和监测薄膜厚度。

厚度：指两个完全平坦的平行平面之间的距离。

薄膜厚度理想：从基材表面到薄膜表面的距离。

由于薄膜具有显微结构，其实很难严格定义和准确测量薄膜厚度。

薄膜厚度的定义与测量方法和目的有关。

膜厚试验方法：

1.形状膜厚：

试验手段和方法:机械方法(触针法、微计法)、光学方法(多次反射干涉法、双光纤干涉法)、其他方法(电子显微镜法)

镀膜时薄膜厚度及其测量方法你知道吗？

2.质量膜厚：

试验方法和方法：质量测量法(化学平衡法、微量平衡法、扭转平衡法、石英晶体振荡法)、原子数测量法(比色法、X射线荧光法、离子探针法、放射性分析法)

3.物性膜厚：

测试方法和方法:电学方法(电阻法、电容法、涡流法、电压法)、光学方法(干涉色法、椭圆偏振法、光吸收法)

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