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经常检查青岛真空镀膜设备油质。若真空油乳化变质，应及时更换，确保真空泵正常运转。青岛真空镀膜设备泵的使用寿命取决于用户是否能满足实际使用条件和性能要求。一般来说，新真空泵建议每100小时左右更换一次油，以去除干净干燥的气体。油中看不到黑色金属粉后，真空油的更换周期可以适当延长。
青岛真空镀膜设备禁止使用其他油。必须使用专业真空油。经常检查油位。如果没有，调整到符合要求。旋片真空泵运行时，油位达到油标的中心。一般情况下，青岛真空镀膜设备真空泵应在2000小时后进行维修，检查橡胶密封件的老化程度，检查排气阀片是否有裂纹，清理排气阀片和沉积在排气阀座上的污垢。清洁整个真空泵腔内的部件，如转子、转盘、弹簧等。通常用汽油清洗和干燥。清洁橡胶部件后，用干布擦干。清洁时，小心处理，小心划伤。
检查真空泵管道和接头是否松动和泄漏。用手转动真空泵，看看它是否正常工作。有条件的管道同时清洗，确保管道畅通。禁止长时间吸入空气！禁止无油无油操作。真空阀应安装在真空系统与真空泵的连接处，停机前应关闭通道，防止真空回流到真空系统！确保泵送系统没有腐蚀性气体。青岛真空镀膜设备旋片真空泵重新组装后，应投入试运行。一般空载怠速2小时，换油2次。因为在清洗过程中，旋片真空泵箱内会有一定量的挥发性残留物，挥发后会投入正常工作。
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