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真空镀膜表面的清洁处理非常重要，直接影响电镀产品的质量。在进入镀膜室之前，加工件必须在镀膜前进行仔细的清洁处理。表面污染来自各种灰尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等。附着在工件的加工、传输和包装过程中。为了避免加工过程中造成的不良，真空镀膜厂家基本上可以采用去油或化学清洗的方法去除。
清洁后的清洁表面不能储存在大气环境中，应储存在封闭的容器或清洁柜中，以减少灰尘污染。将玻璃衬底储存在刚氧化的铝容器中，可以更大限度地减少碳氢化合物蒸汽的吸附。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。青岛真空镀膜加工一般应储存在高度不稳定、对水蒸气敏感的表面的真空干燥箱中。
真空涂层加工清除涂层室内灰尘，设置清洁度高的车间，保持室内高度清洁是涂层工艺对环境的基本要求。在空气湿度大的地区，除了在镀膜前仔细清洁基片和真空室的所有部件外，还应烘烤和除气。为了防止油带入真空室，注意油扩散泵的回油，加热功率高的扩散泵必须采取防油措施。
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